الوصف

إرسال التحقيق

عادةً ما تكون محطة تنقية المياه EDI لأشباه الموصلات-جزءًا من نظام Ultra Pure Water (UPW). في هذا السياق، يعد EDI "خطوة تلميع إزالة الأيونات" بعد RO والتي تساعدك على الوصول إلى موصلية منخفضة للغاية-ثم يؤدي التلميع الإضافي UPW إلى إزالة TOC والسيليكا/البورون والغازات الذائبة والبكتيريا والجسيمات لتلبية متطلبات التصنيع.

لماذا EDI هو المعيار لأشباه الموصلات

يتم استبدال طبقات راتينج التبادل الأيوني التقليدية-إلى حد كبير بالتبادل الإلكتروني للبيانات في مصانع أشباه الموصلات نظرًا للعديد من المزايا التقنية المهمة:

عدم التسرب الأيوني: على عكس الطبقات الراتنجية القياسية التي يمكن أن "تتسرب" الأيونات عند استنفادها، يوفر EDI تيارًا ثابتًا وعالي{0}}نقاوة لأن الراتينج يتم تجديده بشكل مستمر بواسطة مجال كهربائي.
بيئة خالية من المواد الكيميائية-: تتطلب أشباه الموصلات بيئة مستقرة بشكل لا يصدق. يستخدم EDI الكهرباء بدلاً من الأحماض الخطرة والمواد الكاوية، مما يزيل خطر الأبخرة الكيميائية أو الانسكابات العرضية التي يمكن أن تلوث هواء "الغرفة النظيفة".
إزالة منخفضة من TOC والسيليكا: يعد التبادل الإلكتروني للبيانات فعالاً للغاية في إزالة الأنواع ضعيفة التأين مثل السيليكا ($SiO_2$) والبورون، والتي من الصعب جدًا تجريدها ولكنها مدمرة لإنتاج أشباه الموصلات.
قابلية التوسع المعياري: تعتبر شركات تصنيع أشباه الموصلات ضخمة الحجم. تعد أنظمة EDI معيارية، مما يسمح للمهندسين بتوسيع نطاق إنتاج المياه لأعلى أو لأسفل لتتناسب مع عدد أدوات الطباعة الحجرية أو الحفر قيد التشغيل.

محطة تنقية المياه النموذجية EDI لشبه الموصل

في منشأة أشباه الموصلات، يعتبر مصنع التبادل الإلكتروني للبيانات "قلب" حلقة التلميع، حيث يقع بين مرحلة التناضح العكسي (RO) والنقطة النهائية-لاستخدام-المرشحات:

المعالجة الأولية (مرور -مزدوج RO): يزيل 99% من الملوثات المجمعة. تعمل الجودة العالية-المتخللة من ممر RO الثاني كمياه تغذية لـ EDI.
إزالة الغازات: يزيل $O_2$ و$CO_2$ الذائبين. وهذا أمر بالغ الأهمية لأن الغازات الذائبة يمكن أن تسبب فقاعات على سطح الرقاقة وتتداخل مع كفاءة التبادل الإلكتروني للبيانات.
وحدة EDI: يتم صقل الماء إلى 15-18 M$\\Omega$·cm. يضمن المجال الكهربائي بقاء راتينج التبادل الأيوني- في حالة "مشحونة" بشكل دائم.
الأشعة فوق البنفسجية والترشيح الفائق (UF): "التلميع" النهائي عند 18.5 نانومتر أو 254 نانومتر من الأطوال الموجية للأشعة فوق البنفسجية لتدمير أي أثر عضوي (TOC) وأغشية UF لالتقاط أي جزيئات فرعية - متبقية من الميكرون.

نقاط التصميم الرئيسية الأكثر أهمية

يجب أن تكون التغذية إلى EDI نظيفة جدًا: صلابة منخفضة، خطر منخفض لتحجيم السيليكا، نسبة أكسدة منخفضة (الكلور)، انخفاض SDI.
غالبًا ما يؤدي تفريغ الغاز (إزالة ثاني أكسيد الكربون) إلى تحسين المقاومة وتقليل حمل EDI.
المواد والنظافة: تستخدم حلقات UPW عادةً مواد عالية النقاء (على سبيل المثال، PVDF/PFA/EP-درجة SS اعتمادًا على المواصفات) وإعادة تدوير مستمرة لمنع التلوث.
المراقبة: المقاومة، TOC، السيليكا، DO، عدد الجسيمات، التدفق/الضغط، درجة الحرارة-بالإضافة إلى الإنذارات/الاتجاهات.

إذا أخبرتني بهذه العناصر الأربعة، فيمكنني أن أقترح عليك محطة تنقية مياه مناسبة لـ EDI لشبه -موصل: